Vákuová pec sa vo všeobecnosti skladá z hlavného motora, komory pece, elektrického vykurovacieho zariadenia, utesneného plášťa pece, vákuového systému, systému napájania, systému regulácie teploty a vonkajšieho dopravného prostriedku. Utesnený plášť pece je zvarený z uhlíkovej ocele alebo nehrdzavejúcej ocele a spojovacie plochy odnímateľných častí sú utesnené vákuovým tesniacim materiálom. Aby sa zabránilo deformácii plášťa pece po zahriatí a znehodnoteniu tesniaceho materiálu pri zahrievaní, plášť pece sa všeobecne chladí vodou alebo vzduchovým chladením. Komora pece je umiestnená vo vnútri utesneného plášťa pece. V závislosti od účelu pece je komora pece vybavená rôznymi typmi vykurovacích prvkov, ako sú odpory, indukčné cievky, elektródy a elektrónové delá. Vákuové pece na tavenie kovu sú vybavené téglikmi a niektoré sú vybavené automatickými odlievacími zariadeniami a manipulátormi na nakladanie a vykladanie. Vákuový systém sa skladá hlavne z vákuového čerpadla, vákuového ventilu a vákuového manometra.