Vákuová pec, teda v špecifickom priestore komory pece, vákuový systém (starostlivo zostavený vákuovou pumpou, vákuovým meracím zariadením, vákuovým ventilom a ďalšími komponentmi) slúži na vypustenie časti látok v komore pece, takže tlak v komore pece je nižší ako štandardný atmosférický tlak a priestor v komore pece sa využíva na dosiahnutie vákuového stavu, ktorým je vákuová pec.
Vákuová pec je zariadenie, ktoré sa ohrieva vo vákuovom prostredí. Komora pece je vedená potrubím do systému vysokovákuového čerpadla v peci utesnenej krytom z kovu alebo kremenného skla. Stupeň vákua pece môže dosiahnuť 133×(10-2~10-4)Pa. Vykurovací systém v peci môže byť priamo vyhrievaný elektrickým ohrevom drôtu odporovej pece (ako je volfrámový drôt), alebo môže byť vyhrievaný vysokofrekvenčnou indukciou. Maximálna teplota môže dosiahnuť asi 3000 stupňov. Používa sa hlavne na keramické vypaľovanie, vákuové tavenie, odplyňovanie a žíhanie elektrických vákuových dielov, spájkovanie kovových dielov a keramicko-kovové tesnenie.
